Полвека назад Гордон Мур, один из основателей Intel, сформулировал так называемый закон Мура, предсказав, что развитие технологий позволит производителям микросхем каждые два года удваивать плотность размещения транзисторов на чипе. Однако в прошлом году гендиректор Intel Брайан Крзанич предупредил, что теперь на удвоение плотности размещения элементов уходит уже 2,5 года. Многие участники рынка опасаются, что закон Мура постепенно становится неактуальным, но малоизвестная широкой публике компания ASML Holding из Нидерландов считает, что пессимистический диагноз преждевременен. «По крайней мере за ближайшие 10 с лишним лет можно не опасаться», – говорит Ханс Мейлинг, специалист ASML.
Штат ASML составляет порядка 15 000 человек, выручка в 2015 г. составила 6,3 млрд евро ($7,05 млрд). Компания производит оборудование для изготовления чипов, специализируясь на технологии фотолитографии, т. е. на создании миллиардов микроскопических транзисторов на чипе с помощью светового луча. Подобными технологиями занимаются и специалисты в области оптики, включая Canon и Nikon, но ведущим разработчиком считается именно ASML.
Последние 10 лет исследования этой компании были сосредоточены на оптимизации параметров световых лучей – на том, чтобы уменьшить размеры полупроводниковых транзисторов на кремниевой пластине. Процесс изготовления чипов предполагает расплавление кремния и формирование из него круглых стержней, из которых затем нарезаются тонкие пластины. Их снабжают светочувствительным покрытием, на котором световые лучи формируют необходимую конфигурацию линий. Продукты ASML, технология которых основана на использовании «глубокого ультрафиолета» (EUV), позволяют сделать размеры этих элементов крайне малыми, повышая таким образом плотность их размещения (см. врез). Это, в свою очередь, позволяет повысить быстродействие.
Наноразница
16 нм такое разрешение обеспечивает технология EUV при размещении транзисторов на пластине. Современные машины могут наносить линии толщиной 38 нм
Четыре года назад EUV-технология ASML выглядела столь многообещающе, что Intel, Samsung и TSMC решили совокупно инвестировать в нидерландскую компанию $6 млрд. В сентябре Samsung продал половину своих акций ASML, но заявил о готовности продолжать партнерство с компанией.
ASML была основана в начале 1980-х как совместное предприятие с участием Royal Philips. В 1990-х она отделилась от Philips и начала создавать первые версии своего оборудования по изготовлению чипов. Сегодня все крупные производители чипов используют машины ASML. Обычно каждая машина стоит $55–60 млн. Новейшие модели ASML дороже – порядка 95 млн евро, но они еще не доведены до совершенства. Компания продала 12 экземпляров и совместно с заказчиками занимается их оптимизацией. Промышленное использование таких машин должно начаться в 2018-2019 г.
Ни у одного другого разработчика нет достаточно средств, чтобы конкурировать с ASML в области технологий EUV. «Но и этой компании становится все труднее получать новые заказы, – говорит Пьер Феррагю, аналитик из Bernstein Research. – Производители чипов будут медлить с покупкой до последнего, чтобы внедрить у себя наилучшую технологию».
Перевел Александр Силонов